原子力显微镜AFM图像处理软件Gwyddion使用教程(图文)

Gwyddion简介

        Gwyddion是一款扫描探针显微镜图像处理软件,可对扫描探针显微镜(扫描探针显微镜)数据可视化和分析,可为分析领域所取得的高度扫描探针显微技术(原子力显微镜,磁力显微 镜,扫描隧道显微镜,扫描/ NSOM )

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本次教程用的AFM扫描图像下载地址

本次教程使用的AFM Demo图像下载地址

AFM/STM校准样品

本次教程使用的AFM扫描样品是SHS系列台阶标样step-ox-0.5
step-0x-0.5
AFM扫描的区域是红色框部分,红色框里面的每一个小坑尺寸长宽高是5um5um0.5um。

Gwyddion使用

step1

  • 打开软件,如下图
    图1

step2

  • 将afm图像拖入,我用的图像格式是“.xyz”格式。
  • 我用的图像扫描区域是10000nm,每行扫描128个点,所以在软件的分辨率设置那块的“Lateral units”=10000/128=78.125;单位“value unites”=1nm。把10000分成128个点,每个点就代表1nm。分辨率设置的详细一点会让图像更清晰。然后点击“OK”

图2

step3

  • 如果不对图像进行预处理可以直接点击“3D图像显示”,但是这时候显示的样品高度不是很准确。

图3

step4

  • 对图像进行预处理。先在图像表面平坦区域找一个基准位置,要避开凹凸区域,凹凸区域的颜色深浅不一。颜色基本没有渐变的区域是平坦区域。点击“Apply”,也可以同时打开3D视图看看变化。可以画一条线也可可以多条。

图4

step5

  • 选择基准面。通过选取3个点(圆区域)作为一个基准面。这一步是让凹凸的尺寸有个参考面。

图5

step6

  • 做完step4,step5图像就修正的差不多了,打开3D视图看看变化。

图6

step7

  • 测量样品深度。

图7
图8
用的样品深度是500nm,我们量出来的是646nm的深度,要么是扫图误差要么事先没有进行尺寸标定。我用的这个demo图像是没有标定的图像。下面用一张afm标定后扫的图像进行测量,并介绍当图像有凸起时怎么处理,凸起常见的是灰尘,表现在图像上就是发白的区域。

step8

  • 图像上的发白区域可能是细小的灰尘也可以是比较大的颗粒。图像是黑白图像,是有对比度的,凹的区域发黑,凸的区域相对来说发白。下图是没有进行处理过的图像,在3D图上可以看到凸起的两处大灰尘,样品凹坑区域也有个“灰尘2”。

图9

  • 重复step4,step5将图像处理一下,如下图,3D图上可以看到图像更平整,灰尘更明显。

图10

  • 如下图图像更加平整

图11

  • 测量凹坑深度。标定后的AFM测量的图像深度是498nm,跟样品深度500nm几乎一致。

图12

你没见过的CD磁道到底长啥样

  • 我用AFM扫描了一段光盘,如下图中2D图中颜色较深的区域就是光盘中的磁道。

图13

一张图总结

在这里插入图片描述

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