如何对光栅进行多波长优化

如何对光栅进行多波长优化—非单色光光源

介绍

RSoft DiffractMOD可以对光栅进行分析优化,借助DiffractMOD中多波长输出功能加上简单的后处理,可以对光栅进行多波长优化,即在入射光为非单色光情况下优化光栅。

模型

对光栅进行多波长优化的目的是找到在特定光源(非单色光)入射情况下透过率最大的结构。所以我们在仿真设置中选择Transmission和Plot type vs Wavelength,得到不同波长时的透过率,注意这时入射角只有一个。接着我们用脚本的方式对各个波长下的透过率做加权求和得到总的透过率,以此作为优化的目标。

仿真设置

如下,从左至右依次点击Perform Simulation, Output, Plot type vs Wavelength,勾选Transmission。所有选择完成后记得在DiffractMOD Simulation Parameters窗口中Save Settings。
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优化设置

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优化结果

在\mosttmp_work\optimal_points中查看结果。D1对应了黄色框部分的高度。
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转载自blog.csdn.net/qq_23455525/article/details/107466786
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