一、玻璃基板清洗
选用的玻璃基板通常采用 直径为2、3寸的圆形玻璃板,材质通常为普通玻璃和石英玻璃2类,前者厚度为0.5mm,后者厚度为0.8mm,以便于区分
1.准备大、中、小3个培养皿、2个量瓶、1个玻璃棒,在最大的那个里面配制食人鱼水;中的里面放去离子体水,小的里面放乙醇
2.带好橡胶手套和一次性口罩,将培养皿、量瓶、玻璃棒用通风橱处的水冲洗一遍,然后用去离子水清洗,最后拿氮气吹干
3.将玻璃基板从包装中拆除,用镊子放入培养皿(错落放置、避免用手直接拿取)
4.拿取浓硫酸和过氧化氢,在通风橱按比例约为2:1进行配制
5.先由量瓶量取适量的浓硫酸,倒入装有玻璃片的培养皿,然后由另一个量瓶量取浓硫酸量的一半的过氧化氢,倒入装有玻璃片的培养皿,与浓硫酸发生反应,拉下通风橱遮挡窗,用玻璃棒搅拌(务必在通风橱配制、务必先倒浓硫酸后配制过氧化氢、通常50ml的浓硫酸25ml的过氧化氢)
6.浸泡10分钟
7.在中号培养皿中放入去离子水(大约为容量的一半)
8.用镊子夹取清洗液中的玻璃片,在通风橱处冲洗,角度约为60度,小水流冲洗,尽量将玻璃片放低夹紧,避免溅到通风台上;待清洗至表面无清洗液残留时,方可放入去离子水中(常用两个镊子进行操作、注意玻璃片与水流的清洗角度、注意镊子夹取处的清洗)
9.依次清洗结束后,将装有玻璃片的中号培养皿放入超声波清洗机中,清洗机内的水约为培养皿高度的1/3,避免清洗水进入培养皿
10.打开清洗机开关,调节功率为90(最右侧),时间为4min(靠功率左侧)
11.清洗结束后,往小号培养皿中放入乙醇,容量能让玻璃片浸入即可
12.将装有玻璃片的乙醇培养皿放入超声波清洗机中,同9、10步骤
13.在清洗期间,将废液倒入废液瓶中,并清洗使用过的培养皿,待冲洗掉残液后用氮气吹干;废液瓶开口放置在通风橱内,待实验完毕后再封口存好;
14.清洗结束后,将培养皿取出,用镊子夹取玻璃片,用氮气吹干(尽量不要将出气口直接对着玻璃片正面,应顺着正面的方向吹)待吹干到少量液滴残留时,可用手卡住玻璃片直接吹干,最后放入存放盒;
15.依次吹干后,将玻璃片装好,将培养皿中的乙醇、去离子水直接倒入水槽中,用清水冲洗掉残留液,清洗量瓶、清洗玻璃棒、再用氮气吹干
16.将实验用品全部放入原位,清洗完的玻璃片装好带走,将废液瓶封口,存放。
17.将一次性口罩、橡胶手套、无尘纸等产生的垃圾带走或扔进垃圾箱内
二、喷涂PI膜
三、贴掩膜
选取基板
1.喷涂在玻璃基板上PI膜
2.正面用记号笔标记PI膜工艺参数——转速、厚度
3.玻璃板背面为PI膜
贴防护膜
1.事先画好二维图,以dxf格式存放
2.裁减合适的大小,并将其贴在打印纸上,用硬物压紧粘牢
3.按下打印机后面的扳手,将滚轮抬起,放入打印纸,抬起扳手
4.开机,打开操作界面,导入文件
5.排版,设定切割参数,注意切割力度6~7即可
6.开始切割
7.将切好的防护膜贴到玻璃基板两侧,在写有标签的一侧贴一层膜,在PI膜那一侧贴上刚刚切割的膜
8.将制备好的试件放入培养皿中并标注。
四、磁致溅射
西净化间磁控溅射操作步骤