大量试验表明，表面微粒散射强度同各因素存在如下经验关系式（也是瑞利散射经验公式）：
Pscattering：散射光强度；
d：表面微粒的直径,散射强度与微粒直径的六次方成正比,可见微粒的大小对其散射光的强度有着十分大的影响；
n：空气中晶圆表面的折射率,散射强度与该折射率的二次方成正比,所以晶圆表面薄膜的材质，也影响着散射光的强度；
λ：入射光波的波长,它的四次方与散射光强度成反比,故入射光波长越短越有利于提高散射光强度,这成了入射光光源选择的一个重要因素；
Iincident：入射光强度，提高入射光强也可以提高散射光检测信号。
